FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“风机过滤单元”。通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或**高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
风机过滤单元具有特点
:灵活性。因为它是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
*二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
*三:负压通风。这是它的*特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
*四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用成为了一种可能。
*五:减少运行成本。虽然在选用时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,**的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
风机过滤单元控制速度
1、较低的运转消耗功耗,降低成本。
2、内置风道导流系统,降低噪声和压损,提高风机效率。
3、可轻易搭配各种厂牌之T-GRID及HEPA、ULPA。
4、风机过滤单元风机选用高效离心式风机,能提供高风量.高静压条件,工作寿命要求长达五万小时以上。
5、适合使用于洁净度Class1-1000级无尘室。
6、特别适合于组装成**净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线
7、产品出厂前均按美国联邦标准209E,用尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量。